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AWM5000 系列

AWM5000 系列高流量氣體質量流量傳感器，放大型
同軸流量測量AWM5000 系列微橋氣體質量流量傳感器采用文丘里管型流量外殼。該系列測量每分鐘高達 20 標準公升/每分鐘 (SLPM) 的氣流，同時產生 2.25" H2O 的最大壓降。微橋芯片直接與氣流接觸，大大減少了由于通氣孔或旁路堵塞引起的誤差。堅固、通用的封裝堅固的塑料封裝被設計為能承受最高 50 psi 的共模壓力，且小型傳感元件能承受 100 g 的沖擊，而不會影響性能。所配備的“AMP”兼容連接器能在要求嚴苛的應用中提供十分可靠的連接。內置信號調節每個 AWM5000 傳感器都包括可執行放大、線性化、溫度補償和氣體校準的電路。無論流量范圍 (5、10、15 或 20 SLPM) 或校準氣體（氮氣、二氧化碳、一氧化二氮或氬氣）如何，所有產品都可能達到 1 至 5 Vdc 的線性輸出。主動激光可進行所有校準。注意：產品損傷AWM 系列微橋式氣體質量流量傳感器不適用于測量液體流量，液體流過傳感器時會損壞傳感器。