技術(shù)的改進(jìn)已經(jīng)使超快激光器走出實(shí)驗(yàn)室，進(jìn)入工業(yè)和醫(yī)藥行業(yè)執(zhí)行精準(zhǔn)細(xì)致的加工任務(wù)。超快激光器的成功之處在于其能將光能集中到皮秒至飛秒的時(shí)間間隔內(nèi)，并將光聚焦到小空間上。這種聚焦為“在不破壞底層區(qū)域的情況下，從材料表面快速、清潔地?zé)g材料”提供了所需要的高光強(qiáng)。
對加工像玻璃或陶瓷這樣的易碎材料，或者是在渦輪葉片這樣的硬質(zhì)金屬上清潔地鉆孔這樣的應(yīng)用來說，這種精確性和精細(xì)性的結(jié)合至關(guān)重要。這些優(yōu)勢已經(jīng)為超快激光器在醫(yī)療領(lǐng)域贏得了一席之地，其不但可用于制作精細(xì)的生物醫(yī)學(xué)設(shè)備，如用于冠狀動脈搭橋手術(shù)中的支架；還能執(zhí)行精細(xì)的醫(yī)療手術(shù)，如角膜手術(shù)。
激光與材料的相互作用
功率強(qiáng)度和脈寬是影響激光束如何與材料相互作用的關(guān)鍵因素。在長時(shí)間范圍內(nèi)，材料吸收一部分光能，將其轉(zhuǎn)換成熱量，熱量會通過材料傳導(dǎo)。如果光束足夠強(qiáng)，便能熔化材料，熔化的材料會將熱量傳遞到周圍區(qū)域。對于短至納秒級時(shí)間尺度的脈沖加工而言，吸收、熔化和熱傳導(dǎo)占主導(dǎo)地位。
當(dāng)脈沖能量以短于約100ps的時(shí)間尺度傳輸時(shí)，根據(jù)材料的不同情況會發(fā)生顯著變化。隨著脈沖峰值功率的增加，峰值強(qiáng)度急劇上升。例如，持續(xù)1ps的微焦級脈沖的峰值功率為1MW，當(dāng)它聚焦為5μm的光斑時(shí)，可產(chǎn)生約4×1012W/cm2的峰值強(qiáng)度，這足以剝離外層電子。激光與材料相互作用的時(shí)間是如此之短，以至于離子在能夠?qū)⒛芰總鲗?dǎo)到底層材料之前，就已經(jīng)從材料表面被燒蝕掉了。與光強(qiáng)較低的情況相比，在這種燒蝕模式下，能量傳導(dǎo)受材料吸收的影響較小，但是也會受到材料種類和激光波長的影響。例如，紫外脈沖比近紅外脈沖更適合切割玻璃之類的透明材料，而近紅外脈沖在玻璃中的傳輸性能更好。
這種加工通常也被稱為“冷燒蝕”。雖然材料表面在片刻間就變得非常熱，但是離子在其加熱或損傷底層材料之前就已經(jīng)被燒蝕掉了，如圖1所示。因此皮秒或飛秒激光脈沖能夠從精細(xì)或易碎材料中無損去除非常薄的表層。波蘭研究人員已經(jīng)使用強(qiáng)度僅在燒蝕閾值之上的70ps脈沖去除油畫表面的透明清漆，并利用光學(xué)相干斷層掃描技術(shù)監(jiān)控整個去除過程。美國Photonics Industries公司的Joyce Kilmer說：“皮秒激光器能夠?qū)D案寫到火柴頭上，卻不會讓火柴點(diǎn)燃。”
圖1：納秒脈沖和飛秒脈沖加工效果的對比。左圖中的納秒脈沖在燒蝕前會熔化表面材料，并將熱量傳遞到鄰近區(qū)域，從而影響許多材料。右圖中的飛秒脈沖通過多光子離子化燒蝕材料，只有很少的熱量傳遞到鄰近的材料中。
一般而言，由于皮秒脈沖的能量通常更高，因此皮秒燒蝕的速度更快；相比之下，飛秒燒蝕往往會產(chǎn)生更平滑、更精密的加工表面。實(shí)際加工性能取決于脈沖參數(shù)、目標(biāo)材料以及其他方面的考慮。由于燒蝕是將一團(tuán)材料爆散到光路中，因此重復(fù)頻率是很重要的因素。對于兆赫茲的重復(fù)頻率，可能在下一個脈沖發(fā)射之前，上一個脈沖產(chǎn)生的材料還沒有足夠的時(shí)間消散。千赫茲的重復(fù)頻率有足夠的時(shí)間讓材料消散，所以對精密去除材料可能更加有效。
適用的材料
冷燒蝕加工適用于一系列材料，包括金屬、半導(dǎo)體、玻璃、晶體和陶瓷。冷燒蝕的典型能量密度閾值在0.05~5J/cm2的范圍內(nèi)，表1中給出了材料對摻鐿光纖激光器和鈦寶石激光器發(fā)射的飛秒脈沖的典型閾值。
超短脈沖對切割或加工易碎材料特別有吸引力，包括玻璃、陶瓷、硅和CIGS（用于薄膜太陽能電池的銅銦鎵硒）。利用燒蝕鉆孔或切割玻璃可以避免產(chǎn)生裂縫，并獲得尖銳、清潔的邊緣和表面，如圖2所示。對于液晶顯示器或手機(jī)上使用的超薄玻璃，可以通過沿著一系列冷燒蝕激光孔洞對玻璃進(jìn)行機(jī)械擠壓切割成形。這是由于燒蝕是一種具有高閾值的非線性過程，經(jīng)過聚焦的脈沖，僅在焦斑的中心處的激光功率超過燒蝕閾值，這部分激光脈沖可以鉆出小于衍射極限的孔。
圖2：超快脈沖實(shí)現(xiàn)玻璃的精細(xì)加工。a）利用10μJ的355nm脈沖在玻璃上鉆出的440μm孔；b）利用355nm脈沖在Pyrex玻璃上銑出2mm的正方形區(qū)域。
