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　　在PI（聚酰亞胺）薄膜上制造的6寸柔性PEDOT觸控面板需要采用無蝕刻痕工藝與“多用途柔性電子基板技術(shù)”( FlexUpTM)。在柔性測試中，PEDOT電極的電阻變化(ΔR/R0)在10K繞曲測試之后下降了1%。借助視頻交換系統(tǒng)、圖片交換系統(tǒng)以及放大/縮小的功能設(shè)置，6寸PEDOT觸控面板與AMOLED顯示模組的技術(shù)整合得到了成功展示。

　　諸如ITO（氧化銦錫）等透明摻雜金屬氧化物一直是液晶顯示屏、觸控面板、OLED（有機(jī)發(fā)光二極管）以及太陽能電池等應(yīng)用領(lǐng)域的主要選擇。然而，金屬氧化物薄膜的柔性極差，通常會在彎曲或扭轉(zhuǎn)過程中產(chǎn)生裂痕1。因此，多種柔性電極材料已被考慮用作ITO的替代性方案，例如PEDOT： PSS聚合物2、碳納米管3、石墨烯4以及納米銀線5。與其他替代性材料相比，目前廣受關(guān)注6-8的液態(tài)導(dǎo)電聚合物PEDOT具有多種核心競爭優(yōu)勢，其中包括霧度更低、價格更實惠，而且能夠與凹版印刷、夾縫式擠壓型涂布與狹縫涂布等溶液沉積技術(shù)相兼容等。本文將詳細(xì)分析高導(dǎo)電PEDOT在柔性觸控面板應(yīng)用領(lǐng)域作為透明電極的用途，包括光學(xué)性能、可靠性以及柔性測試等。此外，PEDOT觸控面板與AMOLED顯示模組技術(shù)整合的相關(guān)結(jié)果同樣會得到驗證。

　　生產(chǎn)工藝

　　本文所提到的高導(dǎo)電PEDOT產(chǎn)品配方（由臺灣EOC公司生產(chǎn)）為用作透明導(dǎo)體。圖例1 (a) 和 (b)展示了PEDOT觸控面板結(jié)構(gòu)的頂視圖與橫切圖。FlexUPTM基板的生產(chǎn)是通過將聚酰亞胺清漆涂覆于單層離型層之上。隨后，采用真空沉積工藝將過渡層沉積于上述基材之上。銀則通過制圖工藝發(fā)揮橋梁紐帶作用。之后，隔離層通過沉積和壓制工藝生成介電層。導(dǎo)電聚合物經(jīng)由旋涂工藝引入之后即采取可視化制圖工藝9進(jìn)行壓制處理，完成觸控傳感器制造流程的最后一步。至此，觸控傳感器即可借助機(jī)械解鍵合技術(shù)進(jìn)行脫離操作。

　圖1（a）柔性PEDOT觸控面板的頂視圖；（b）柔性PEDOT觸控面板的側(cè)切圖