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類型分類:
科普知識
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MOSFET

MOSFET結構及工作原理詳解

發布日期:2022-10-09 點擊率:82




MOSFET的種類:按導電溝道類型可分為P溝道和N溝道。按柵極電壓幅值可分為:耗盡型-當柵極電壓為時漏源極之間就存在導電溝道增強型-對于N(P)溝道器件,柵極電壓大于(小于)零時才存在導電溝道,功率MOSFET主要是N溝道增強型


(以N溝道增強型為例)

N溝道增強型MOS管結構如圖5所示。它以一塊低摻雜的P型硅片襯底,利用擴散工藝制作兩個高摻雜的N+,并引入兩個電極分別為源極S(Source)漏極D(Drain),半導體上制作一層SiO2絕緣層,再在SiO2上面制作一層金屬鋁Al,引出電極,作為柵極G(Gate)。通常將襯底與源極接在一起使用。這樣,柵極和襯底各相當于一個極板,中間是絕緣層,形成電容。當柵-源電壓變化時,將改變襯底靠近絕緣層處感應電荷的多少,從而控制漏極電流的大小。


(N溝道增強型為例)

  • 當柵-源之間不加電壓時即VGS=0時,源漏之間是兩只背向的PN結。不管VDS極性如何,其中總有一個PN結反偏,所以不存在導電溝道。

  • UDS=0且UGS>0時,由于SiO2的存在,柵極電流為零。但是柵極金屬層將聚集正電荷.它們排斥P型襯底靠近 SiO2一側的空穴,使之剩下不能移動的負離子區形成耗盡層,如圖6所示


  • UGS增大時,一方面耗盡層增寬,另一方面將襯底的自由電子吸引到耗盡層絕緣層之間,形成一個N型薄層,稱為反型層,如圖7所示。這個反型層就構成了漏-源之間的導電溝道。使溝道剛剛形成的柵-源電壓稱為開啟電壓UGS(th)/VTUGS電壓越大,形成的反層型越厚,導電溝道電阻越小



  • VGS>VT且VDS較小時,基本MOS結構的示意圖如圖8-1所示。圖中反型溝道層的厚度定性地表明了相對電荷密度,這時的相對電荷密度在溝道長度方向上為一常數。相應的ID-VDS特性曲線如圖8-1所示。



  • VGS>VT且VDS增大時,由于漏電壓增大漏端附近的氧化層壓降減小,這意味著漏端附近的反型層電荷密度也將減小。漏端的溝道電導減小,從而ID-VDS特性曲線的斜率減小,如圖8-2所示。



  • VGS>VT且VDS增大到漏端的氧化層壓降等于VT時,漏極處的反型層電荷密度為零,此時漏極處的電導為零,這意味著ID-VDS的特性曲線的斜率為零,稱為預夾斷,如圖8-3所示。



  • VGS>VT且VDS>VDS(sat)時,溝道中反型電荷為零的點移向源端。如果UDS繼續增大,夾斷區隨之延長,如圖所示,而且UDS的增大部分幾乎全部用于克服夾斷區對漏極電流的阻力,漏電流ID為一常數,這種情形在ID-VDS對應于飽和區(恒流區),如圖8-4所示。



漏極電流ID和柵源間電壓UGS的關系稱為MOSFET的轉移特性ID較大時,ID與UGS的關系近似線性,曲線的斜率定義為跨導Gfs。圖中隨著VGS增大,ID的斜率增大。原因是由于VGS增大,形成的反層型越厚,導通溝道電阻越小ID增長速度越快MOSFET有三個工作區域截止區飽和區非飽和區,對應的輸出特性曲線如圖10所示。若電力 MOSFET工作在開關狀態,即在截止區非飽和區之間來回轉換 <p style="text-align:justify;color:#333333;font-family:-apple-system, BlinkMacSystemFont, " font-size:17px;background-color:#ffffff;"="">  



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