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    電子能譜儀是利用光電效應(yīng)測出光電子的動能及其數(shù)量的關(guān)系從而推算出樣品表面各種元素含量的儀器。廣泛應(yīng)用于表面化學(xué)分析、分子結(jié)構(gòu)、催化劑、新材料等研究領(lǐng)域。
    電子能譜儀的優(yōu)點：
    （1）分析速度快 能譜儀可以同時接受和檢測所有不同能量的X射線光子信號，故可在幾分鐘內(nèi)分析和確定樣品中含有的所有元素，帶鈹窗口的探測器可探測的元素范圍為11Na~92U,20世紀80年代推向市場的新型窗口材料可使能譜儀能夠分析Be以上的輕元素，探測元素的范圍為4Be~92U.
    （2）靈敏度高 X射線收集立體角大。由于能譜儀中Si（Li）探頭可以放在離發(fā)射源很近的地方（10㎝左右），無需經(jīng)過晶體衍射，信號強度幾乎沒有損失，所以靈敏度高（可達104cps/nA,入射電子束單位強度所產(chǎn)生的X射線計數(shù)率）。此外，能譜儀可在低入射電子束流（10-11A）條件下工作，這有利于提高分析的空間分辨率。
    （3）譜線重復(fù)性好。由于能譜儀沒有運動部件，穩(wěn)定性好，且沒有聚焦要求，所以譜線峰值位置的重復(fù)性好且不存在失焦問題，適合于比較粗糙表面的分析工作。
    電子能譜儀的缺點：
    （1）能量分辨率低，峰背比低。由于能譜儀的探頭直接對著樣品，所以由背散射電子或X射線所激發(fā)產(chǎn)生的熒光X射線信號也被同時檢測到，從而使得Si（Li）檢測器檢測到的特征譜線在強度提高的同時，背底也相應(yīng)提高，譜線的重疊現(xiàn)象嚴重。故儀器分辨不同能量特征X射線的能力變差。能譜儀的能量分辨率（130eV）比波譜儀的能量分辨率（5eV）低。
    （2）工作條件要求嚴格。Si（Li）探頭必須始終保持在液氦冷卻的低溫狀態(tài)，即使是在不工作時也不能中斷，否則晶體內(nèi)Li的濃度分布狀態(tài)就會因擴散而變化，導(dǎo)致探頭功能下降甚至完全被破壞。