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1）抽氣情況不良。即抽氣系統(tǒng)本身存在問題。比如：擴(kuò)散泵工作不正常，這可能是由于泵油過多或過少，泵加熱功率不合適，泵油氧化或太臟，泵冷卻效果不良，機(jī)械泵油太臟或含水量高，內(nèi)部零件磨損或劃傷，反擴(kuò)散增大等原因造成。

2）放氣。真空系統(tǒng)或容器內(nèi)部存在氣體或蒸氣源。主要是真空清潔處理（清洗、干燥）不良，材料選擇不當(dāng)或設(shè)計(jì)有死空間等原因引起。

3）漏氣。主要由于焊接加工或安裝不良，低溫下密封圈失去彈性或壓縮量不足，不清潔等原因造成。

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